原子熒光光譜儀組成結(jié)構(gòu)包含激發(fā)光源、單色器、原子化器、檢測系統(tǒng)、顯示裝置等，原子熒光光譜法具有設(shè)備簡單、各元素相互之間的光譜干擾少，檢出限低，靈敏度高，工作曲線線性范圍寬和多元素可以同時測定等優(yōu)點，是一種具有潛力的痕量分析方法。
熒光分析用的激光 光源種類
空心燈極（包括高強(qiáng)度燈極可拆卸燈），無極放電燈，金屬蒸氣放電燈，汞放電燈，微波誘導(dǎo)紫焰，電感耦合等離子焰，可控溫梯燈，佩燈，可調(diào)諧染料激光，二極管激光燈燈。
檢測器
光電倍增管是目前常用的熒光檢測器。 由于熒光比較弱，應(yīng)當(dāng)選用低噪音及低暗電流產(chǎn)品。對于無色散系統(tǒng)儀器來說為了排除室內(nèi)光線的影響，采用光譜響應(yīng)范圍為160~320nm的白盲光電倍增管。
分光系統(tǒng)
由于原子光譜儀比較簡單，因而對分光系統(tǒng)的色散率要求不高,一般單色器要求。 由于在原子熒光測量中，激發(fā)光源與檢測器不在同一光路中。因而有可能省略分光系統(tǒng)，在這種情況下，測量到的信號是若干條熒光譜線的總強(qiáng)度，其值得大小仍然與原子濃度成正比。
原子化器
對于原子熒光法來說，對原子化器的只要要求有：
1、高原子化效率
2、低背景發(fā)光
3、高熒光量子效應(yīng)
4、低散射效應(yīng)
5、物理及化學(xué)干擾少
6、適于多種元素同時分析
在原子熒光光譜法中采用的原子化器主要兩大類：火焰原子器及電熱原子器。
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